규 격 CPC-6005 입자제거능력 Sub-micron(0.1㎛ 이하)
규 격 VNF048 사이즈 Φ 150 x 605L
규 격 SYTF-A300(2㎛), SYTF-A400(5㎛) 사이즈 Φ113 x 542L
규 격 AMC520-04, AMC610-10 사이즈 Φ102 x 194L,Φ130 x 240L
규 격 DC-2 사이즈 Φ100 x 150L